分光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松井伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323952
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142240
出願日： 1997年11月11日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【目的】試料からの測定光を同時に広範囲な測定波長範囲で計測したり、任意の異なる波長域を同時に測定することができる分光装置を提供すること【構成】 X方向とY方向に共に異なる位置に配置された複数のスリット10a,10bと、その複数のスリットから入射された光を波長分散する回折格子13を含む光学系と、その光学系から出射される光を受光するCCD検出器17とを備え、光検出器、受光面が二次平面のCCD検出器を用い、かつ前記光学系は、前記複数のスリットからの各光が、前記受光面の異なる位置に受光するように構成した。

請求項（抜粋）：

X方向とそれに交差するY方向の両方向に対して異ならせた位置に配置された複数の入射口と、その複数の入射口から入射された光を波長分散する分散素子を含む光学系と、前記光学系から出射される光を受光する光検出手段とを備え、前記光検出手段は、受光面が二次平面となり、かつ前記光学系は、前記複数の入射口からの各光が、前記受光面の異なる位置に受光するように構成されたことを特徴とする分光装置。

IPC (3件)：

G01J 3/18 , G01J 3/04 , G01J 3/36

FI (3件)：

G01J 3/18 , G01J 3/04 , G01J 3/36

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