特許

J-GLOBAL ID：200903037657731494

ガラス基板搬送用ボックス

発明者： 吉田 俊雄 ,  河村 徳郎
出願人/特許権者： 淀川化成株式会社
代理人 (1件)： 大石 征郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-213415
公開番号（公開出願番号）：特開平7-050338
出願日： 1993年08月04日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：

【要約】【目的】 ガラス基板の出入が行いやすく、垂直姿勢のみならず水平姿勢でのガラス基板の取り扱いも可能で、自動装置による蓋体や底体の開閉や基板の出入を行うこともでき、さらにはボックスの洗浄が容易で、センタリング装置によりガラス基板センタリングを行うことのできるガラス基板搬送用ボックスを提供することを目的とする。【構成】 側枠体(1) 、底体(2) および蓋体(3) からなるガラス基板搬送用ボックスである。側枠体(1) は、下方および上方が開放されかつ4側壁が前板(11)、背板(12)および左右の縦溝付き側板(13), (13)でできている。底体(2) は浅底ボックス状を有し、側枠体(1) の下方の開放部に配置される。蓋体(3) も浅底ボックス状を有し、側枠体(1) の上方の開放部に配置される。側枠体(1) -底体(2)間、側枠体(1) -蓋体(3) 間は、いずれも係合手段(4) によって係合および切り離し自在に構成される。

請求項（抜粋）：

下方および上方が開放されかつ4側壁が前板(11)、背板(12)および左右の縦溝付き側板(13), (13)でできた側枠体(1) と、その側枠体(1) の下方の開放部に配置する浅底ボックス状の底体(2) と、その側枠体(1) の上方の開放部に配置する浅底ボックス状の蓋体(3) とからなり、かつ側枠体(1) -底体(2) 間、側枠体(1) -蓋体(3) 間はいずれも係合手段(4) によって係合および切り離し自在に構成されていることを特徴とするガラス基板搬送用ボックス。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/00 ,  B65D 85/48