特許
J-GLOBAL ID：200903037665096110
基板搬送装置および露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-257365
公開番号（公開出願番号）：特開平10-084027
出願日： 1996年09月09日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：
【要約】【課題】 露光装置に用いて、その露光装置における露光ステージの軽量化を図り、スループットや露光精度を向上させる。【解決手段】 基板を搬送して可動ステージに受け渡す搬送ハンドを有する基板搬送装置において、前記搬送ハンドの機構内に、前記基板を該基板のパターン描画平面内と該平面に垂直な軸回りとに微動させる微動機構を設ける。
請求項（抜粋）：
基板を搬送して可動ステージに受け渡す搬送ハンドを有する基板搬送装置において、前記搬送ハンドの機構内に、前記基板を該基板のパターン描画平面内と該平面に垂直な軸回りとに微動させる微動機構を設けたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L 21/68
, H01L 21/30 502 J
, H01L 21/30 515 F
, H01L 21/30 515 G
