特許
J-GLOBAL ID：200903037668315131
電気的に調節可能な被覆
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-501305
公開番号（公開出願番号）：特表平11-508963
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：
【要約】水素によって安定化されたダイヤモンド状炭素ネットワーク中の炭素、酸素によって安定化されたガラス状シリコンネットワーク、および要すれば、周期表の1-7bおよび8族からの元素を有するドーパント元素またはドーパント化合物の少なくとも1種の付加的なネットワークの相互侵入した原子規模のネットワークを有するダイヤモンド状ナノコンポジット固体物質を含んでなる、基材上の被覆としての、電気的に調節可能な被覆、並びにその製造および蒸着方法。
請求項（抜粋）：
水素によって安定化された第1ダイヤモンド状炭素ネットワーク、酸素によって安定化された第2ガラス状シリコンネットワーク、および要すれば、周期表の1-7bおよび8族からの元素を含む非導電性ドーパント元素または非導電性ドーパント化合物の少なくとも1種の付加的なネットワークを含んでなる相互侵入した原子規模のネットワークを有するダイヤモンド状物質から形成された調節可能な誘電性被覆を基材に適用することによって、基材上の導電性を抑制する方法。
IPC (7件)：
C23C 14/06
, B05D 5/12
, B29D 9/00
, C01B 31/06
, C23C 16/42
, C30B 29/04
, H05H 1/24
C23C 14/06 F
, B05D 5/12 B
, B29D 9/00
, C01B 31/06 Z
, C23C 16/42
, C30B 29/04 X
, H05H 1/24
