ウェーハエッチングの前処理方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：佐藤隆久 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-022533
公開番号（公開出願番号）：特開平6-236867
出願日： 1993年02月10日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】【目的】界面活性剤の代わりに過酸化水素水を使用することにより洗浄液そのものの残留を防止し、かつ適切な酸化還元反応を利用して前工程における汚れを効率的に除去する。【構成】混酸によりケミカルエッチングを行う前に、酸化還元溶液と高濃度アルカリ溶液を用いて連続して洗浄を行う。酸化還元溶液は、無機アルカリ成分が0.08mol/l以上、過酸化水素水溶液が0.05mol/l以上であり、除去能力が10Å/min以上であることが好ましい。高濃度アルカリ溶液は、無機アルカリ成分が7mol/l以上、除去能力が0.7〜1.2μm/minであることが好ましい。

請求項（抜粋）：