特許
J-GLOBAL ID：200903037680064284
感光性樹脂
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-026662
公開番号（公開出願番号）：特開平5-134413
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：
【要約】【構成】インデン類を主成分とする重合成分と、無水マレイン酸とを主成分とする共重合体中の酸無水物基の少なくとも一部を不飽和アルコールによりエステル化して得られ新規な感光性樹脂。【効果】本発明の感光性樹脂は、耐熱性が高く、単独で、あるいは他の成分と組成物とすると、耐はんだレジスト、エッチングレジスト、耐メッキレジストおよび半導体素子製造時のパターン形成材料等に有用である。
請求項（抜粋）：
下記の繰り返し単位よりなり、繰り返し単位〔C〕の酸無水物基の一部または全部を不飽和アルコールでエステル化してなる感光性樹脂。【化1】ただし、R1 は水素あるいはC1-4 のアルキル基を示し、R2 はアルキル基、水素およびアリール基から選ばれる少なくとも1つの基を示す。ただし、a,b,c,dは各繰り返し単位の全体に対するモル%を示す自然数でありbとdは0を含み、40≦(a+b)≦605≦a≦5025≦c≦50である。
IPC (10件)：
G03F 7/038 505
, G03F 1/00
, G03F 7/027
, G03F 7/031
, G03F 7/033
, G03F 7/038 501
, H01L 21/027
, H05K 3/06
, H05K 3/18
, H05K 3/34
