特許
J-GLOBAL ID：200903037681039283
セラミック基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加古 宗男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-125151
公開番号（公開出願番号）：特開平10-316475
出願日： 1997年05月15日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：
【要約】【課題】 セラミック基板の拘束焼成に用いるダミーグリーンシートの有機バインダーの配合量を適正化して、基板の焼成収縮や基板反りを少なくする。【解決手段】 低温焼成セラミック生基板11の両面にダミーグリーンシート12を積層圧着して、800〜1000°Cで拘束焼成する。この際、ダミーグリーンシート12の上から低温焼成セラミック生基板11を加圧しながら焼成しても良いし、加圧せずに焼成しても良い。ダミーグリーンシート12は、低温焼成セラミック生基板11の焼成温度では焼結しないセラミック粉末(例えばアルミナ粉末)を用い、このセラミック粉末に有機バインダー等を配合したスラリーを用いてテープ成形したものである。このダミーグリーンシート12は、セラミック粉末と有機バインダーとの配合比がセラミック粉末100体積部に対して有機バインダー10〜100体積部となっている。
請求項（抜粋）：
セラミック生基板の表裏両面に、該セラミック生基板の焼成温度では焼結しないダミーグリーンシートを積層圧着し、この状態で、該セラミック生基板を焼成した後、この焼成基板の両面に付着した未焼結のダミーグリーンシートを除去してセラミック基板を製造する方法において、前記ダミーグリーンシートとして、セラミック粉末と有機バインダーとの配合比をセラミック粉末100体積部に対して有機バインダー10〜100体積部としたグリーンシートを用いることを特徴とするセラミック基板の製造方法。
FI (2件)：
C04B 35/64 G
, C04B 35/64 J
