特許

J-GLOBAL ID：200903037684065617

誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法

発明者： 松野 博光 ,  五十嵐 龍志 ,  平本 立躬
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-015150
公開番号（公開出願番号）：特開2002-316041
出願日： 1993年01月20日
公開日（公表日）： 2002年10月29日
要約：

【要約】【課題】 各種の処理を高品位で行い、かつ、高速度であるいは高効率で行うことが出来る誘電体バリヤ放電ランプを利用した処理方法を提供すること【解決手段】 上記本発明の目的は、波長が異なる紫外線を放射する第1の誘電体バリヤ放電ランプと第2の誘電体バリヤ放電ランプにより、被処理物と少なくとも酸素を含む処理用流体とを接触させ第1の誘電体バリヤ放電ランプからの紫外線を照射してオゾンを生成させ、第2の誘電体バリヤ放電ランプからの紫外線を照射して活性酸素を生成させる。また、第1の誘電体バリヤ放電ランプからの紫外線を照射して分解、活性化させ、処理用流体と被処理物とを接触させて前記第2の誘電体バリヤ放電ランプからの紫外線を照射し再活性化させて、前記被処理物を処理する。

請求項（抜粋）：

波長が異なる紫外線を放射する第1の誘電体バリヤ放電ランプと第2の誘電体バリヤ放電ランプにより、被処理物と処理用流体とを接触させて処理する誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法であって、前記被処理物としてのガスを処理するガス処理方法であり、前記処理用流体は酸素を含む流体からなり、前記処理用流体に前記第1の誘電体バリヤ放電ランプからの紫外線を照射してオゾンを生成させ、前記第2の誘電体バリヤ放電ランプからの紫外線を照射して活性酸素を生成させて、前記被処理物を処理することを特徴とする誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法。

IPC (10件)：

B01J 19/12 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/70 ,  C01B 13/10 ,  C02F 1/32 ,  G03F 7/42 ,  G21K 5/00 ,  H01J 65/00 ,  A61L 2/10 ,  A61L 2/20

FI (10件)：

B01J 19/12 C ,  C01B 13/10 Z ,  C02F 1/32 ,  G03F 7/42 ,  G21K 5/00 Z ,  H01J 65/00 B ,  A61L 2/10 ,  A61L 2/20 J ,  B01D 53/34 134 E ,  B01D 53/34 ZAB

Fターム (33件)：

2H096LA02 ,  2H096LA03 ,  4C058AA06 ,  4C058BB06 ,  4C058BB07 ,  4C058CC02 ,  4C058CC04 ,  4C058JJ14 ,  4C058JJ28 ,  4C058KK02 ,  4C058KK42 ,  4D002AA21 ,  4D002AA22 ,  4D002BA05 ,  4D002BA09 ,  4D002EA06 ,  4D037AA11 ,  4D037AB11 ,  4D037BA18 ,  4D037BB09 ,  4G042CA03 ,  4G042CE04 ,  4G075AA02 ,  4G075AA30 ,  4G075AA37 ,  4G075BA06 ,  4G075CA33 ,  4G075CA51 ,  4G075CA57 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EB31 ,  4G075EC21