特許
J-GLOBAL ID：200903037687747085

大型基板搬送装置

発明者：
中島 洋一郎

中島 洋一郎 について

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笹川 英四郎

笹川 英四郎 について

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宮園 直之

宮園 直之 について

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上野 茂一

上野 茂一 について


出願人/特許権者：
三菱重工業株式会社

三菱重工業株式会社 について


代理人 (1件)： 高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-366032
公開番号（公開出願番号）：特開2002-167035
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月11日
要約：
【要約】【課題】 大型基板を真空処理室外の基板受け渡しステージで、及び、減圧下で処理する真空処理室内の基板受け渡し位置で、基板を受け渡しさせる搬送台車と、この搬送台車上で基板を保持する基板保持機構とを具えた大型基板搬送装置において、真空室の真空維持が容易な、真空室の大きさを極力コンパクトにすることが可能な、基板受け渡し動作の信頼性の高い、駆動源の小さな基板受け渡し機構を前記基板保持機構に組み込んだ大型基板搬送装置の提供。【解決手段】 傾斜安定角で起立させた基板の上下両端部を係合把持させる少なくとも一対の係合把持手段と、該係合把持手段の少なくとも一方を基板両端より離隔・開放する方向若しくは基板両端へ接近・把持するに方向に移動させるリンク機構と、外部駆動手段より駆動力を伝えてリンク機構を移動する移動手段と、前記係合把持手段が基板係合位置で位置保持される位置保持手段からなる基板受け渡し機構を、前記基板保持機構に組み込んだことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
大型基板を真空処理室外の基板受け渡しステージで、及び、減圧下で処理する真空処理室内の基板受け渡し位置で、基板を受け渡しさせる搬送台車と、この搬送台車上で基板を保持する基板保持機構とを具えた大型基板搬送装置において、傾斜安定角で起立させた基板の上下両端部を係合把持させる少なくとも一対の係合把持手段と、該係合把持手段の少なくとも一方を基板両端より離隔・開放する方向若しくは基板両端へ接近・把持するに方向に移動させるリンク機構と、外部駆動手段より駆動力を伝えてリンク機構を移動する移動手段と、前記係合把持手段が基板係合位置で位置保持される位置保持手段からなる基板受け渡し機構を、前記基板保持機構に組み込んだことを特徴とする大型基板搬送装置。
IPC (8件)：
B65G 49/06 ,  C23C 14/56 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/68 ,  H01L 31/04
FI (8件)：
B65G 49/06 Z ,  C23C 14/56 G ,  C23C 16/44 F ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/31 B ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/302 B ,  H01L 31/04 T
Fターム (41件)：
4K029AA24 ,  4K029CA05 ,  4K029KA01 ,  4K030CA17 ,  4K030GA12 ,  4K030LA16 ,  5F004AA16 ,  5F004BC06 ,  5F031CA04 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA18 ,  5F031GA13 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA58 ,  5F031LA14 ,  5F031LA15 ,  5F031LA16 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA18 ,  5F045AA03 ,  5F045AB03 ,  5F045AB04 ,  5F045AF07 ,  5F045CA13 ,  5F045DP01 ,  5F045EN04 ,  5F051CA13 ,  5F051CA15 ,  5F051CA22 ,  5F103AA08 ,  5F103BB36 ,  5F103DD16 ,  5F103GG02 ,  5F103GG03 ,  5F103HH04 ,  5F103LL04 ,  5F103RR10
引用特許：
審査官引用 (8件)
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