特許
J-GLOBAL ID：200903037688470532
光導波路デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-217347
公開番号（公開出願番号）：特開平5-053085
出願日： 1991年08月28日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：
【要約】【目的】 光導波路デバイスに関し、光導波路と電極との間のバッファ層の誘電率を下げることによって信号電圧のマイクロ波の速度を上げ、よって変調帯域を向上させることのできることを目的とする。【構成】 電気光学効果を有する基板(10)と、該基板に設けられた光導波路(12)と、該光導波路の上にバッファ層(14)を介して設けられた電極(16,18)とを備え、該バッファ層の該電極の下の部分が少なくとも部分的に除去されている構成とする。
請求項（抜粋）：
電気光学効果を有する基板(10)と、該基板に設けられた光導波路(12)と、該光導波路の上にバッファ層(14)を介して設けられた電極(16,18)とを備え、該バッファ層の該電極の下の部分が少なくとも部分的に除去されている光導波路デバイス。
引用特許：
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