金属及び金属含有フィルムの堆積のための揮発性先駆物質

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-104544
公開番号（公開出願番号）：特開2002-069088
出願日： 2001年04月03日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】 CVD及びALDのための金属先駆物質を提供する。【解決手段】本発明は、銅のような金属を含む一連の8員環化合物(図1)の群とする。ここで、金属は環に可逆的に結合しており、また環は炭素、窒素、ケイ素、及び/又は他の金属を有する。この化合物は、下記の式によって表される。【化1】

請求項（抜粋）：

下記の構造によって表される化合物:【化1】(M及びM’は、それぞれ金属;X及びX’は、それぞれN又はO;Y及びY’は、それぞれSi、C、Sn、Ge、B、又はAl;Z及びZ’は、それぞれC、N又はO;R1、R2、R1’及びR2’は、それぞれ独立に、H、アルキル、アルケニル、アルキニル、部分的にフッ素化したアルキル、アリール、アルキル置換アリール、部分的にフッ素化したアリール、フルオロアルキル置換アリール、トリアルキルシロキシ、トリアリールシロキシ、トリアルキルシリル、又はトリアリールシリル;R3、R4、R3’及びR4’は、それぞれ独立に、H、アルキル、部分的にフッ素化したアルキル、トリアルキルシロキシ、アリール、アルキル置換アリール、部分的にフッ素化したアリール、フルオロアルキル置換アリール、アルコキシ、トリアルキルシロキシ、トリアリールシロキシ、トリアルキルシリル、トリアリールシリル、ビス(トリアルキルシリル)アミド、ビス(トリアリールシリル)アミド、又はハロゲン;且つR5、R6、R5’及びR6’は、それぞれ独立に、H、アルキル、アルケニル、アルキニル、部分的にフッ素化したアルキル、アリール、アルキル置換アリール、部分的にフッ素化したアリール、フルオロアルキル置換アリール、ハロゲン、トリアルキルシロキシ、トリアリールシロキシ、トリアルキルシリル、トリアリールシリル、トリアルキルシラノエート、又はアルコキシ;但し、X及びX’がそれぞれOである場合、R2及びR2’の置換が存在せず;また、Z及びZ’がそれぞれOである場合、R5、R6、R5’又はR6’の置換が存在せず;前記アルキル及びアルコキシドの炭素数は1〜8;前記アルケニル及びアルキニルの炭素数は2〜8;且つ前記アリールの炭素数は6)。

IPC (5件)：

C07F 19/00 , C23C 16/18 , H01L 21/285 , C07F 1/08 , C07F 7/10

FI (5件)：

C07F 19/00 , C23C 16/18 , H01L 21/285 C , C07F 1/08 Z , C07F 7/10 S

Fターム (26件)：

4H048AA01 , 4H048AB91 , 4H048VA32 , 4H048VA56 , 4H048VB10 , 4H048VB40 , 4H049VN01 , 4H049VP02 , 4H049VQ59 , 4H049VQ89 , 4H049VR22 , 4H049VR52 , 4H049VU24 , 4H050AA01 , 4H050AB91 , 4K030AA11 , 4K030BA01 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4M104BB04 , 4M104BB17 , 4M104BB36 , 4M104DD43 , 4M104DD44 , 4M104DD45 , 4M104HH08

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