特許

J-GLOBAL ID：200903037696688997

ネガ型感光性組成物

発明者： 落合 為一 ,  高崎 龍一郎
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-266026
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118647
出願日： 1992年10月05日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂、酸性条件下でアルカリ可溶性樹脂に作用する架橋剤、及び酸発生剤を含有するネガ型感光性組成物において、該アルカリ可溶性樹脂が、75モル%以上がm-クレゾールからなるフェノール類とアルデヒド類とから合成されるノボラック樹脂であることを特徴とするネガ型感光性組成物。【効果】 本発明のネガ型感光性組成物は、紫外光によるハーフミクロンリソグラフィーが可能である。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、酸性条件下でアルカリ可溶性樹脂に作用する架橋剤、及び酸発生剤を含有するネガ型感光性組成物において、該アルカリ可溶性樹脂が、75モル%以上がm-クレゾールからなるフェノール類とアルデヒド類とから合成されるノボラック樹脂であることを特徴とするネガ型感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-152543
  
• 特開平4-136860
  
• ネガ型フオトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-268572   出願人：富士写真フイルム株式会社