特許

J-GLOBAL ID：200903037700708116

マイクロダンパ、及び該マイクロダンパを有するセンサ、アクチュエータ、プローブ、並びに該プローブを有する走査型プローブ顕微鏡、加工装置、情報処理装置

発明者： 安田 進 ,  八木 隆行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-063771
公開番号（公開出願番号）：特開平10-247118
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】本発明は、真空中でも減衰力を得ることができ、その減衰力を制御することができるマイクロダンパと、該マイクロダンパを有するセンサ、アクチュエータ、プローブ、並びに該プローブを有する走査型プローブ顕微鏡、加工装置、情報処理装置等を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、相対的に可動な第1の部材と第2の部材とを備えたマイクロ構造体の可動部の振動を制御するマイクロダンパにおいて、前記第1の部材と第2の部材のいずれか一方の部材に設けられた磁界発生手段と、該磁界発生手段に対向して他方の部材に設けられた導電性部材とによって、ダンピング力を働かせるようにしたマイクロダンパを構成したことを特徴とするものであり、また該マイクロダンパを用いてダンピング特性の優れた、センサ、アクチュエータ、プローブ、並びに該プローブを有する走査型プローブ顕微鏡、加工装置、情報処理装置を構成したことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

相対的に可動な第1の部材と第2の部材とを備えたマイクロ構造体の可動部の振動を制御するマイクロダンパにおいて、前記第1の部材と第2の部材のいずれか一方の部材に設けられた磁界発生手段と、該磁界発生手段に対向して他方の部材に設けられた導電性部材とによって、ダンピング力を働かせるようにしたことを特徴とするマイクロダンパ。

IPC (4件)：

G05D 19/02 ,  G01N 37/00 ,  G02B 21/00 ,  G11B 9/00

FI (4件)：

G05D 19/02 D ,  G01N 37/00 F ,  G02B 21/00 ,  G11B 9/00