特許

J-GLOBAL ID：200903037702001168

マイクロマシニング構成部材と該マイクロマシニング構成部材を製造するための方法

発明者： フーベルト ベンツェル ,  ヘリベルト ヴェーバー ,  フランク シェーファー
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-326179
公開番号（公開出願番号）：特開2002-205299
出願日： 2001年10月24日
公開日（公表日）： 2002年07月23日
要約：

【要約】【課題】 基板10と、該基板10上にデポジットされた薄膜40とを有するマイクロマシニング構成部材を改良して、簡単かつコスト安に製造可能であるようなマイクロマシニング構成部材およびこのようなマイクロマシニング構成部材を製造するための方法を提供する。【解決手段】 薄膜40の下方に、該薄膜40を機械的に支持し熱的に絶縁する、多孔質材料からなる領域30が設けられている。

請求項（抜粋）：

基板(10)と、該基板(10)上にデポジットされた薄膜(40)とを有するマイクロマシニング構成部材であって、薄膜(40)の下方に、該薄膜(40)を機械的に支持し熱的に絶縁する、多孔質材料から成る領域(30;30′)が設けられていることを特徴とする、マイクロマシニング構成部材。

IPC (5件)：

B81B 1/00 ,  B81C 1/00 ,  G01J 5/02 ,  G01N 25/68 ,  G01N 27/22

FI (6件)：

B81B 1/00 ,  B81C 1/00 ,  G01J 5/02 B ,  G01N 25/68 B ,  G01N 25/68 C ,  G01N 27/22 Z

Fターム (25件)：

2G040AA04 ,  2G040AB03 ,  2G040BA23 ,  2G040CA03 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040DA02 ,  2G040EA07 ,  2G040EA13 ,  2G040EB02 ,  2G040FA01 ,  2G040GA05 ,  2G040GA07 ,  2G040HA11 ,  2G060AA01 ,  2G060AC01 ,  2G060AE19 ,  2G060AF11 ,  2G060AG06 ,  2G060AG08 ,  2G060AG10 ,  2G066BA08 ,  2G066BA55 ,  2G066BB09 ,  2G066BB11