特許
J-GLOBAL ID：200903037703515912
荷電粒子線装置及び荷電粒子線を用いた試料の処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-125474
公開番号（公開出願番号）：特開平10-312765
出願日： 1997年05月15日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】 試料の観察、分析、加工等の処理中に、試料が帯電することによる不具合を低減する。【解決手段】 非導電性試料102を観察/処理する場合、試料近傍に紫外線108を発するランプ107を設け、試料102に荷電粒子線105を照射中、試料の荷電粒子線の照射部分、及びその周辺に試料の表面原子を励起させるのに十分なエネルギーを持つ紫外線を照射する。
請求項（抜粋）：
荷電粒子線を試料に照射して試料の観察、分析、加工等の処理を行う方法において、観察、分析、加工等の処理を行っている試料の領域に、試料の表面原子を励起させるのに十分なエネルギーを持つ電磁波を照射しながら試料の観察、分析、加工等の処理を行うことを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/20 H
, H01J 37/30 Z
