特許

J-GLOBAL ID：200903037706843015

露光装置

発明者： 北原 政樹
出願人/特許権者： ノーリツ鋼機株式会社
代理人 (1件)： 北村 修一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-269900
公開番号（公開出願番号）：特開2002-082391
出願日： 2000年09月06日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：

【要約】【課題】 光源からの光ビームを所定の方向に走査する機構と、走査機構によって走査される光ビームを感光材料の面に導く光学系とを備え、光学系は、透光性の媒質と前記媒質に形成された第1反射面とを備えた一対の折り返しミラーを含み、各折り返しミラーの第1反射面で反射された光ビームが、一つの仮想平面に関して対称に進む主光路を形成する露光装置において、感光材料上に得られる画像に帯状などの欠点が生じ難い露光装置を提供する。【解決手段】 走査機構47を発し、上流側の折り返しミラー54a,56a,58aの第1反射面P1から媒質内へ入射した光ビームによって形成される副光路BS,Bs1,Bs2が主光路BMと重複することを規制する手段を設けた。

請求項（抜粋）：

光源からの光ビームを所定の方向に走査する機構と、前記走査機構によって走査される前記光ビームを感光材料の面に導く光学系とを備え、前記光学系は、透光性の媒質と前記媒質に形成された第1反射面とを備えた一対の折り返しミラーを含み、前記各折り返しミラーの前記第1反射面で反射された前記光ビームが、一つの仮想平面に関して対称に進む主光路を形成する露光装置であって、前記走査機構を発し、上流側の前記折り返しミラーの前記第1反射面から前記媒質内へ入射した前記光ビームによって形成される副光路が前記主光路と重複することを規制する規制手段が設けられている露光装置。

Fターム (7件)：

2H106AA12 ,  2H106AA46 ,  2H106AB04 ,  2H106AB45 ,  2H106AB53 ,  2H106AB64 ,  2H106BA11