タンク室付ブロックバルブ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-268690
公開番号（公開出願番号）：特開平7-119844
出願日： 1993年10月27日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【目的】半導体製造装置等のガスの供給配管路、特にブロックバルブが組み込まれた配管路内の残留ガスを迅速且つ円滑に抜き出せるようにする。【構成】入口6a及び出口6bを有するガス供給通路6と、ガス供給通路6に連通状態で接続され、出口7aを有する分岐通路7と、分岐通路7の途中に形成されたタンク室8とを備えたボディ1と;ボディ1に設けられ、分岐通路7が接続された部分よりも下流側のガス供給通路6を開閉する第1バルブ2と;ボディ1に設けられ、タンク室8よりも上流側の分岐通路7を開閉する第2バルブ3とから構成する。

請求項（抜粋）：

入口(6a)及び出口(6b)を有するガス供給通路(6)と、ガス供給通路(6)に連通状態で接続され、出口(7a)を有する分岐通路(7)と、分岐通路(7)の途中に形成されたタンク室(8)とを備えたボディ(1)と;ボディ(1)に設けられ、分岐通路(7)が接続された部分よりも下流側のガス供給通路(6)を開閉する第1バルブ(2)と;ボディ(1)に設けられ、タンク室(8)よりも上流側の分岐通路(7)を開閉する第2バルブ(3)とから構成したことを特徴とするタンク室付ブロックバルブ。

前のページに戻る