特許

J-GLOBAL ID：200903037710201222

表面検査装置および表面検査方法

発明者： 松本 広行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-332499
公開番号（公開出願番号）：特開2003-139718
出願日： 2001年10月30日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：

【要約】【課題】 画像処理により欠陥を抽出する装置にとって最適な装置条件の下で、基板の表面の欠陥検査を行える表面検査装置、および表面検査方法を提供する。【解決手段】 被検物体11に照明光L1を照射する照明手段13と、照明光が照射された被検物体の像を撮像する撮像手段28と、撮像手段により撮像される像の画像を取り込み、該画像の品質の良否を判断する判断手段16,17と、判断手段による判断の結果に基づいて、撮像手段が像を撮像する際の装置条件に関する最適条件を決定する決定手段16,17と、装置条件を最適条件に設定する設定手段16と、装置条件が最適条件に設定されたときに、撮像手段により撮像される像の画像を取り込み、該画像を画像処理して被検物体の欠陥を検出する検出手段16,18とを備える。

請求項（抜粋）：

被検物体に照明光を照射する照明手段と、前記照明光が照射された前記被検物体の像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像される前記像の画像を取り込み、該画像の品質の良否を判断する判断手段と、前記判断手段による判断の結果に基づいて、前記撮像手段が前記像を撮像する際の装置条件に関する最適条件を決定する決定手段と、前記装置条件を前記決定手段によって決定された前記最適条件に設定する設定手段と、前記装置条件が前記最適条件に設定されたときに、前記撮像手段により撮像される前記像の画像を取り込み、該画像を画像処理して前記被検物体の欠陥を検出する検出手段とを備えたことを特徴とする表面検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00 305 ,  G06T 1/00 400 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  G06T 1/00 305 A ,  G06T 1/00 400 D ,  H01L 21/66 J

Fターム (56件)：

2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB02 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065GG03 ,  2F065GG22 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL19 ,  2F065LL22 ,  2F065LL24 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU04 ,  2F065UU07 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AB11 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CB06 ,  2G051CC15 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051ED07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  5B047AA12 ,  5B047CA17 ,  5B047CA19 ,  5B047CB21 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA15 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02