特許
J-GLOBAL ID：200903037715142879
気体中の粒子状物質の測定方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-527666
公開番号（公開出願番号）：特表平11-502303
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：
【要約】気体中の粒子状物質の量を測定する装置は、気体供給部、気体供給の下流にあり、気体供給部と気体的に連絡する第1の粒子状物質収集装置、および気体供給部の下流にあり、気体供給部と気体的に連絡する第2の粒子状物質収集装置を有する。気体供給部から第2の粒子状物質収集装置に至る気体は気体供給部からの気体が第2の粒子状物質収集装置に接触する前に、粒子除去装置を通過して粒子状物質が除去される。第1の粒子状物質収集装置と第2の粒子状物質収集装置の圧力差を測定する圧力センサー、および気体供給部から第1の粒子状物質収集装置および第2の粒子状物質収集装置へ気体を通過させる少なくとも1個のポンプが設けられている。
請求項（抜粋）：
気体供給部と、前記気体供給の下流にあり、前記気体供給部と気体的に連絡する第1の粒子状物質収集装置と、前記気体供給部の下流にあり、前記気体供給部と気体的に連絡する第2の粒子状物質収集装置であって、前記気体供給部から第2の粒子状物質収集装置に至る気体は前記気体供給部からの気体が前記第2の粒子状物質収集装置に接触する前に、粒子除去装置を通過して粒子状物質が除去され、前記第1の粒子状物質収集装置と前記第2の粒子状物質収集装置の圧力差を測定する圧力センサーと、前記気体供給部から前記第1の粒子状物質収集装置および前記第2の粒子状物質収集装置へ気体を通過させる少なくとも1個のポンプを含むことを特徴とする、気体中の粒子状物質の量を測定する装置。
引用特許：
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