特許
J-GLOBAL ID：200903037717969150
連続処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-358642
公開番号（公開出願番号）：特開平6-156736
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：
【要約】【構成】<第一の発明>未処理のLCD(W)が各葉毎にヒータ内蔵の治具(5)に挟まれて組をなし、これらの所定組が積み重ねられて上昇,水平移動,下降して搬送される。<第二の発明>未処理のLCD(W)が各葉毎にホットプレート(30)に挟まれて組をなし、これらの所定組が積み重ねられて実質的に水平に搬送される。<両発明に共通の構成>前記の積み重ねのための2つのエレベータ(第一の発明では2A,2B、第二の発明では25A,25B)と、両エレベータ間を搬送する支持手段(第一の発明ではエレベータ2A,2B;中継支持材4A,4B;爪16,17、第二の発明では移動ビーム21と固定ビーム26とからなるウォーキングビーム)とを有する。【効果】 前記の積み重ねが自動的になされ、重量物を取り扱う労力が省かれる。また、未処理のLCDが搬送される間に熱処理が遂行されるので、連続熱処理が可能となり、生産性が向上する。
請求項（抜粋）：
板状の被処理物が各葉毎に処理手段に挟まれ、前記被処理物が前記処理手段と共に上昇部、水平移動部及び下降部の領域を搬送されて所定の処理を施されるように構成され、1枚の前記被処理物を挟む各組の前記処理手段は、被支持部を互に異なる位置に設けた2種類が交互に装入され、前記上昇部及び前記下降部には、前記被処理物を挟んだ前記処理手段を所定組重ねて交互に支持する、上下動可能な第一の支持手段と前記被支持部の位置に対応する2種類の第二の支持手段とが設けられ、前記水平移動部には、1枚の前記被処理物を挟む1組の前記処理手段を支持して前記上昇部と前記下降部との間を搬送する往復動可能な第三の支持手段が設けられている連続処理装置。
IPC (4件)：
B65G 60/00
, B65G 49/06
, G02F 1/13 101
, H01L 21/68
