プローブ方法及びプローブ装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小原肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-077077
公開番号（公開出願番号）：特開2002-280426
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年09月27日
要約：

【要約】【課題】ウエハWの表面を上CCDカメラ7Bの焦点に合わせてウエハWの表面高さを検出しているが、この際上CCDカメラ7Bの焦点を中心にメインチャック6を昇降させて焦点を探すため、ウエハWの焦点合わせ作に時間が掛かる。【解決手段】本発明のプローブ方法は、メインチャック11上のウエハWの電極パッドP表面の外側二箇所の所定領域に光を照射する工程と、所定領域から反射された反射光を焦点検出装置16に取り出す工程と、この焦点検装置16を通る反射光を瞳分割ミラー163瞳分割して第1、第2光に分割する工程と、第1、第2光を光センサ166を介して受光してそれぞれの光量分布を得る工程と、第1、第2光の光量分布に基づいてウエハWの表面の第2撮像手段13の焦点からのデフォーカス量を求める工程と、デフォーカス量に基づいてメインチャック11上のウエハW表面を焦点に合わせる工程とを備えている。

請求項（抜粋）：

載置台に付設された第1撮像手段を介してプローブのX、Y位置を検出する工程と、第1撮像手段と第2撮像手段の合焦点を一致させる工程と、第2撮像手段の焦点に上記載置台上の被検査体表面高さを自動的に合わせるオートフォーカス工程と、上記プローブと上記被検査体を接触させる工程とを備えたプローブ方法であって、上記オートフォーカス工程は、上記載置台上の被検査体表面の少なくとも一箇所の所定領域に光を照射する工程と、上記所定領域から反射された反射光を焦点検出光学系に取り出す工程と、この焦点検出光学系を通る上記反射光を瞳分割して第1、第2光に分割する工程と、第1、第2光を光センサを介して受光してそれぞれの光量分布を得る工程と、第1、第2光の光量分布に基づいて上記被検査体の表面の第2撮像手段の焦点からの上記被検査体の表面高さを求める工程とを備えたことを特徴とするプローブ方法。

IPC (5件)：

H01L 21/66 , G01B 11/02 , G01R 1/06 , G01R 31/26 , G01R 31/28

FI (5件)：

H01L 21/66 B , G01B 11/02 H , G01R 1/06 E , G01R 31/26 J , G01R 31/28 K

Fターム (52件)：

2F065AA24 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065DD06 , 2F065FF10 , 2F065FF42 , 2F065GG02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL47 , 2F065MM02 , 2F065PP12 , 2F065QQ02 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2F065QQ29 , 2F065QQ42 , 2G003AA10 , 2G003AG04 , 2G003AG11 , 2G003AG12 , 2G003AG16 , 2G003AG20 , 2G003AH01 , 2G003AH04 , 2G011AA01 , 2G011AB04 , 2G011AB07 , 2G011AC06 , 2G011AC14 , 2G011AE03 , 2G132AA00 , 2G132AE01 , 2G132AE04 , 2G132AE22 , 2G132AF06 , 2G132AF07 , 2G132AL03 , 2G132AL09 , 2G132AL11 , 4M106AA01 , 4M106BA01 , 4M106CA70 , 4M106DD06 , 4M106DD10 , 4M106DD13 , 4M106DD30 , 4M106DJ04 , 4M106DJ05 , 4M106DJ07 , 4M106DJ20

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