特許

J-GLOBAL ID：200903037721061147

スタンパーの洗浄方法

発明者： 細井 信幸
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-009552
公開番号（公開出願番号）：特開平8-203137
出願日： 1995年01月25日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】 低い処理温度でスタンパー上のフォトレジスト層や複製基板の成形中に付着した樹脂や樹脂中の成分を実用的な処理速度で除去することができ、且つ処理することによりピットやグルーブの形状の変化を来さぬようスタンパーの損傷を最小限に留めることの可能な洗浄方法の提供。【構成】 ディスク状のアノード電極とリング状のカソード電極とからなる電極を真空チャンバー上に配置し、該チャンバー内の電極下方にスタンパーを保持し処理ガスを導入しながら両電極間に直流電圧を印加してグロー放電状態を発現させ、処理ガスに応じて発生する固有の紫外線スペクトルのエネルギーと処理ガスとの化学反応によりスタンパー上のフォトレジストや複製基板の成形中に付着した樹脂や樹脂中の成分を分解除去するスタンパー洗浄方法。

請求項（抜粋）：

ディスク基板を成形するためのスタンパーを洗浄する方法において、ディスク状のアノード電極とリング状のカソード電極とからなる電極を真空チャンバー上に配置し、該真空チャンバー内の電極下方にスタンパーを保持し、処理ガスを導入しながら前記両電極間に直流電源により直流電圧を印加してグロー放電状態を発現させ、その際に処理ガスに応じて発生する固有の紫外線スペクトルのエネルギーと処理ガスとの化学反応によりスタンパー上のフォトレジスト、或いは複製基板の成形中に付着した樹脂、及び樹脂中の成分を分解除去することを特徴とする、スタンパーの洗浄方法。