高信頼性窒化ケイ素質焼結体およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小塩豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-050993
公開番号（公開出願番号）：特開平5-254943
出願日： 1992年03月10日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】強度および靭性に優れていると共に、強度のばらつきが少なく、信頼性が高い窒化ケイ素質焼結体を提供する。【構成】 β型を80重量%以上含む原料粉末に、酸化物あるいは窒化物系の焼結助剤を0.2重量%以上10重量%以下添加して成形した後、500気圧以下の窒素ガス圧下で1600°C以上2100°C以下の温度で焼成し、さらに2気圧以上の窒素ガス圧下で1800°C以上2100°C以下の温度で粒成長の熱処理を行うことにより、気孔率5%以下,3点曲げ強さ500MPa以上,ワイブル係数40以上,破壊靭性7MPa√m以上の窒化ケイ素質焼結体を得る。

請求項（抜粋）：