特許
J-GLOBAL ID：200903037725788688
積層型圧電/電歪アクチュエータ素子の製造方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-323635
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151999
出願日： 1992年11月09日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 限り無く内部全面電極方式に近づけることができ、且つグリーンシートを薄層化しても内部電極層を一層おきに容易に外部電極に接続可能とする。【構成】 (a) 圧電/電歪材料のグリーンシート間に内部電極層を有する貼合せシートの作製工程、(b) それに多数の穴を規則的に設ける工程、(c) 各穴に絶縁材料を充填してユニットシートとする工程、(d) 多数のユニットシートを半ピッチずらせて積層一体化する工程、(e) 一体化ブロックを焼成する工程、(f) 焼成ブロックを各ユニットシートについて絶縁材料充填部が現れるように切断する工程、(g) 素子本体の切断面上1層おきの内部電極層を接続する一対の外部電極を形成する工程を具備している。焼成と切断の順序は逆でもよい。絶縁材料に代えて、脱脂時に除去される樹脂材料を用いてもよい。貼合せシートに、電極材料と絶縁材料等とを穴に交互に充填する構成もある。
請求項（抜粋）：
(a) 圧電/電歪材料からなる2枚のグリーンシートの間に内部電極層が位置する貼合せシートを作製する工程、(b) その貼合せシートに一定ピッチで多数の穴を規則的に形成する工程、(c) 多数の穴に絶縁材料を充填し絶縁材料充填部を有するユニットシートを形成する工程、(d) 複数枚のユニットシートを該絶縁材料充填部が1枚のユニットシートおきに重なるように半ピッチずらせて積層加圧し一体化する工程、(e) 一体化したブロックを各ユニットシートについて絶縁材料充填部が現れるように切断する工程、(f) 一体化したブロックを焼成した後に前記(e) 工程の切断を行うか、もしくは一体化したブロックを焼成する前に前記(e) 工程で切断した素片を焼成して素子本体を形成する工程、(g) 素子本体の切断面上1層おきの内部電極層を接続する一対の外部電極を形成する工程、を備えている積層型圧電/電歪アクチュエータの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/22 Z
, H01L 41/08 Q
