特許

J-GLOBAL ID：200903037727925640

静電式アクチュエータ

発明者： 中川 亘 ,  鶴岡 亨彦
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 松崎 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-023025
公開番号（公開出願番号）：特開平5-224751
出願日： 1992年02月10日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】 静電アクチュエータで変位量の制御を可能とし、種々の要求に柔軟に対応できるようにする。【構成】 固定電極11A,11Bと可動電極21との間で、静電力を利用して可動電極21を図の上下方向に変位させる静電アクチュエータの可動電極21に対して検出電極4を対向配置し、その静電容量を検出器6で検出して変位量相当の信号を得、これと設定器8にて設定される指令値との偏差を比較演算回路7にて求めて電圧制御部9に与え、ここで両者の偏差をなくすような電圧信号を得て固定電極11A,11Bの電圧を制御することにより、所望の位置に変位させたり停止させたりできるようにする。

請求項（抜粋）：

櫛歯状の固定電極を持つ固定部材と、絶縁体により互いに絶縁され前記固定電極の櫛歯と噛み合う櫛歯状の第1,第2の可動電極を持つ可動部材と、この可動部材を一方向にのみ案内する案内部材とを備え、この案内部材を介して前記可動電極のいずれか一方および固定電極と残りの可動電極との間に電圧を印加することにより、前記可動部材を一方向に駆動する静電式アクチュエータにおいて、前記可動部材の近傍に静電容量の変化を検出するための検出電極を配置してこの静電容量の変化から可動部材の変位を検出し、この信号を基準の信号と比較した結果の偏差信号にもとづき可動部材の位置制御を可能にしてなることを特徴とする静電式アクチュエータ。

IPC (2件)：

G05D 3/00 ,  B25J 7/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-230779
  
• 特開平4-021368
  
• 特開昭59-032353
  
• 特開平3-004079