特許

J-GLOBAL ID：200903037732488665

導電膜検査装置

発明者： 大竹 文夫 ,  竹島 正明
出願人/特許権者： 株式会社オプト・システム
代理人 (1件)： 福島 三雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-085746
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273468
出願日： 1993年03月18日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【目的】 パターンピッチの異なるI.T.Oパターンについても良否判定のできる導電膜検査装置を提供すること【構成】 各導電膜パターンと時間順次に接触するように相対移動するプローブニードル3と、適当な複数個数の導電膜パターンについてその一端部を互いに接触させるベタプローブ2と、プローブニードル3が各導電膜パターンに接触するタイミングに同期してプローブニードル3に検査電圧VTPを供給する電圧供給部13と、ベタプローブ2から得られる検出電圧VO に基づいて各導電膜パターンの良否を判定する判断部15とを備える。

請求項（抜粋）：

複数個の導電膜パターンを備える基板について、なぞり方式によって各導電膜パターンの良否を検査する導電膜検査装置であって、前記各導電膜パターンと時間順次に接触するように、前記導電膜パターンとの間で相対移動する第1の検出電極と、この第1の検出電極と接触状態にある導電膜パターンを含む適当個数の導電膜パターンについて、その導電膜パターンの一端部を互いに接触させる第2の検出電極と、前記第1の検出電極が前記各導電膜パターンに接触するタイミングに同期して、前記第1または第2の検出電極の一方側に対して電気信号を供給する信号供給部と、前記第1または第2の検出電極の他方側から得られる信号に基づいて、前記各導電膜パターンの良否を判定する判定部とを備えることを特徴とする導電膜検査装置。