特許

J-GLOBAL ID：200903037733005633

反射防止膜を有するプラスチックフィルムの製造方法

発明者： 蔵田 信行 ,  宮北 衡
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-307435
公開番号（公開出願番号）：特開平8-165564
出願日： 1994年12月12日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】 良好な反射防止性能を有し、密着性、耐久性に優れた反射防止膜を有するプラスチックフィルムを提供することを目的とする。【構成】 プラスチックフィルム表面に、表面から空気層側へ順に、酸化アルミニウム層、弗化マグネシウム層からなる反射防止膜を有するプラスチックフィルムを製造する方法において、酸化アルミニウム層および弗化マグネシウム層を蒸着する際に酸素イオンガンを照射して行うことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

プラスチックフィルム表面に、表面から空気層側へ順に、酸化アルミニウム層、弗化マグネシウム層からなる反射防止膜を有するプラスチックフィルムを製造する方法において、酸化アルミニウム層および弗化マグネシウム層を蒸着する際に酸素イオンガンを照射して行うことを特徴とする反射防止膜を有するプラスチックフィルムの製造方法。

IPC (9件)：

C23C 14/30 ,  C23C 14/02 ,  C23C 14/08 ,  G02B 1/11 ,  G02B 5/30 ,  H01J 37/08 ,  C08J 7/04 ,  C08K 3:16 ,  C08K 3:22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特公昭61-000602
  
• 光学薄膜成膜方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-359409   出願人：キヤノン株式会社
• イオンビームアシスト蒸着による光学薄膜の製造方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-048669   出願人：キヤノン株式会社