特許
J-GLOBAL ID：200903037735544051
画像測定システム及び画像測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-092274
公開番号（公開出願番号）：特開2001-280915
出願日： 2000年03月29日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：
【要約】【課題】 高精度の焦点合わせ機構を必要とせず、高い再現性で精度よく測定する画像測定システムを提供する。更に、被検物上の複数の測定点に高低差がある場合でも、高い再現性で精度よく測定できる画像測定システムを提供する。【解決手段】 画像測定システム100を構成する画像測定装置10は、X-Yステージ12、対物レンズ13A、CCD型カメラ14、対物レンズ13AとX-Yステージ12との相対的な距離(焦点位置)を調整するユニット移動部16を有する。ホストコンピュータ20は、前記相対的な距離(焦点位置)を変化させながら測定点P(a),P(b)の位置データA1,A2,...An、B1,B2,...Bnを逐次取得し、この位置データの変化の度合いが最小となった時点での位置データを測定点P(a),P(b)の位置として認識する。
請求項（抜粋）：
被検物が載置されるステージ、該ステージ上の被検物の像を結像させる対物レンズ、該対物レンズを介して得られた被検物の画像を読み取る画像読取手段、及び前記対物レンズと前記ステージとの相対的な位置を調整する調整手段を有する画像測定装置と、前記画像測定装置に接続され、前記調整手段をして前記相対的な位置を変化させると共に前記読み取られた画像に基づいて当該被検物上の任意の測定点の位置を認識し、もって当該被検物の画像測定を行う制御装置とからなる画像測定システムにおいて、前記制御装置は、前記対物レンズと前記ステージとの前記相対的な位置を変化させながら前記測定点の位置データを逐次取得する位置データ取得手段と、斯く取得した位置データの変化の度合いが最小となった時点で得られる位置データを当該測定点の測定結果とする位置認識手段とを有することを特徴とする画像測定システム。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G01B 11/00 H
, G01B 11/00 B
, G01B 11/00 C
, G01B 11/24 K
2F065AA02
, 2F065AA03
, 2F065AA04
, 2F065AA06
, 2F065AA07
, 2F065AA20
, 2F065BB05
, 2F065EE00
, 2F065FF04
, 2F065FF10
, 2F065FF27
, 2F065FF67
, 2F065GG04
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL05
, 2F065NN20
, 2F065PP02
, 2F065PP12
, 2F065QQ00
, 2F065QQ13
, 2F065QQ17
, 2F065QQ18
, 2F065QQ23
, 2F065QQ29
, 2F065SS02
, 2F065SS13
