特許
J-GLOBAL ID：200903037739459091
圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-352829
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198515
出願日： 1993年12月29日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】 外部環境による特性変化が少なく、信頼性の高い圧力センサを提供する。【構成】 薄膜状のダイアフラム2とフレーム3をシリコンウエハより一体として形成し、ダイアフラム2の上面にダイアフラム2が揺動自在に変位できるよう窪み5を形成する。フレーム3の上面にカバー4を貼り合わせ、カバー4と窪み5により形成された圧力室6に基準圧力を導入する導入口7をカバー4に開口する。カバー4の上面には導入口7を塞ぐようにして、非通気性及び柔軟性あるフィルム11を貼り合わせ、圧力センサAを作成する。【効果】 圧力室6が外気と遮断され、圧力室6にほこりや湿気等が侵入せず、センサ感度の低下や結露によるダイアフラム2の破損を防ぎ、圧力センサAの信頼性を向上させる。
請求項（抜粋）：
ダイアフラムを支持させた支持基板に固定基板を貼り合わせ、前記支持基板と前記固定基板との間に設けた圧力室を外部と空間的につなげ、前記圧力室を非通気性及び柔軟性を有するシート状材料により外気から遮断したことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
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