ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩野平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-186272
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019735
出願日： 1998年07月01日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】深紫外線、特にArF エキシマレーザー光に対して、特に残膜率、レジストパターンプロファイル、解像力、ドライエッチング耐性に優れ、しかも現像欠陥の問題を生じないポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】活性光線により酸を発生する化合物、特定の脂環式骨格構造を有する重合体、含窒素塩基性化合物、フッ素系及び/またはシリコン系界面活性剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線により酸を発生する化合物、(B)下記一般式(I)で表される部分構造を有する重合体、(C)含窒素塩基性化合物、並びに(D)フッ素系及び/またはシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】(上記一般式(I)において、R1 〜R4 は各々独立に、水素原子、水酸基、カルボキシル基、アルキル基、アルコキシ基、置換アルキル基、置換アルコキシ基、又は環状アルキル基を表す。また、R1とR3あるいはR2とR4とが結合して環を形成しても良い。Xは炭素数が2から20個の2価の有機残基を表す。R5は、水素原子、アルキル基、置換アルキル基、環状アルキル基、置換環状アルキル基、又は-COOR5で酸の作用により分解する基を構成する基を表す。Zは、炭素原子とともにシクロヘキサン環又はデカリン環を形成する原子群を表す。)

IPC (4件)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , H01L 21/30 502 R

Fターム (10件)：

2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025CB41 , 2H025CC04 , 2H025CC20

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