特許
J-GLOBAL ID：200903037747025726
ポルフィリン薄膜、その製造方法及びそれを用いた多層膜
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
宮川 良夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-068398
公開番号（公開出願番号）：特開平5-275771
出願日： 1992年03月26日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：
【要約】【目的】 表面精度にすぐれたポルフィリン薄膜及びその多層膜を得る。【構成】 ポルフィリン薄膜は、ポルフィリン誘導体からなり、表面における自乗平均粗さが100オングストローム以下である。このポルフィリン薄膜は、ポルフィリン誘導体分子を加熱蒸発させ、1×10-7Torr未満の超高真空下で分子線として飛行させることにより得られる。また、多層膜は、ポルフィリン薄膜を2層以上積層することにより構成されており、該ポルフィリン薄膜は接する薄膜同志が異なるポルフィリンからなる。
請求項（抜粋）：
ポルフィリン誘導体からなり、表面における自乗平均粗さが100オングストローム以下であることを特徴とするポルフィリン薄膜。
IPC (10件)：
H01L 49/02
, C07D487/22
, C07F 1/08
, C07F 3/02
, C07F 3/06
, C07F 3/08
, C07F 15/04
, H01L 21/90
, H01L 31/04
, H01L 31/0344
H01L 31/04 D
, H01L 31/08 T
