特許

J-GLOBAL ID：200903037747825587

クリーンルーム

発明者： 木村 悌一 ,  竹林 幹男 ,  末光 敏行
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-154740
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012380
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】 エアーフィルタの配列間隙等に起因して起こる塵埃の流入を阻止し、処理空間のクリーン度を高める。【構成】 天井1に設置された送風ファン2から送り出された空気が複数のエアーフィルタ4、4でろ過される。フロア6上に敷設された通気性の床板5は、フロア6との間に通風路9を設定し、床板5上にワーク処理装置7が設置されている。互いに隣接する2つのエアーフィルタ4、4の配列間隙8の両サイド付近から垂れ下がる1対の防塵用隔壁15、15は板体またはカーテンからなり、配列間隙8以上の幅を有して互いに向き合い、間仕切り作用をなす。

請求項（抜粋）：

天井に設置された送風ファンと、送風ファンから送り出された空気をろ過するために送風ファンの下方に位置し、天井に沿って配列された複数のエアーフィルタと、フロア上に敷設されてフロアとの間に通風路を設定する通気性の床板と、床板上に設置されたワーク処理装置と、1対の防塵用隔壁とからなり、1対の防塵用隔壁は互いに隣接する2つのエアーフィルタの配列間隙の両サイド付近から垂れ下がり、前記配列間隙以上の幅を有して互いに向き合う板体またはカーテンからなることを特徴とするクリーンルーム。