特許
J-GLOBAL ID:200903037766745772

AC型ガス放電パネルの保護膜の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 清水 守 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-019152
公開番号(公開出願番号):特開平8-212917
出願日: 1995年02月07日
公開日(公表日): 1996年08月20日
要約:
【要約】【目的】 発光効率が高く、しかも価格を低減できるAC型ガス放電パネルの保護膜の製造方法を提供する。【構成】 AC型ガス放電パネルの保護膜の製造方法において、電極が形成された基板103上に誘電体層を形成する工程と、この誘電体層上にミスト成膜装置101を用いてミスト成膜法によりMgO保護膜を形成する工程とを施す。
請求項(抜粋):
AC型ガス放電パネルの保護膜の製造方法において、(a)電極が形成された基板上に誘電体層を形成する工程と、(b)該誘電体層上にミスト成膜法によりMgO保護膜を形成する工程とを施すことを特徴とするAC型ガス放電パネルの保護膜の製造方法。
IPC (2件):
H01J 9/02 ,  H01J 11/02

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