特許
J-GLOBAL ID：200903037772389120
格子干渉型変位検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-134494
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005325
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 装置の小型化を図ることができるとともに、応答速度の向上を図ることができる格子干渉型変位検出装置の提供。【構成】 光源13から出射されて光束分岐手段21を介してスケール11の回折格子12上の回折点Pに至る各光束(各分岐光束A,B)の光路と、この回折点Pで回折または反射されて検出器に至る各光束(各1次回折光A1,B1および各0次光A0,B0)の光路とを、スケール11の同一側であって異なる面内に配置するとともに、回折点Pに入射された各分岐光束A,Bのうちいずれか一方の光束の1次回折光と他方の光束の反射光との光路が一致するようにした。
請求項（抜粋）：
反射型の回折格子を有するスケールと、光束を出射する光源と、この光源からの光束を二波に分岐しかつその各分岐光束を前記スケールの回折格子上の同一点に入射させる光束分岐手段と、前記スケールの回折格子によって生成された複数の光束の混合波を電気信号に変換する検出器とを備えた格子干渉型変位検出装置であって、前記光源から出射されて前記光束分岐手段を介して前記スケールの回折格子上に至る各光束の光路と、前記スケールの回折格子上で回折または反射されて前記検出器に至る各光束の光路とを、前記スケールの同一側であって異なる面内に配置するとともに、前記スケールの回折格子に入射された各分岐光束のうちいずれか一方の光束の1次回折光と他方の光束の反射光との光路が一致するように前記光束分岐手段を構成したことを特徴とする格子干渉型変位検出装置。
IPC (2件)：
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