光波長板とその製造方法及びこれを用いた導波型光デバイス

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中本宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-039368
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092326
出願日： 1994年02月15日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】製造と加工が容易で、耐熱性、耐湿性、柔軟性、機械的強度に優れ、しかも膜厚の薄い光波長板とそれを組込んだ高性能の導波型光デバイスを提供する。【構成】ポリイミドにより構成される光波長板。その製造方法としては、(A)ポリアミド酸のフィルムを一軸延伸と熱イミド化を同時又は順次行う方法、(B)ポリイミド膜を、300°Cで熱処理、又は同時に一軸延伸する方法がある。前記光波長板の用途としては、各種構造の導波型光デバイス、偏波ビームスプリッター、サーキュレータがある。【効果】主に光導波回路の低価格化と作製プロセスの効率化に寄与する。

請求項（抜粋）：