静電保持装置及びそれを用いた搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西脇民雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-089091
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282671
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】この発明は、保持対象物裏面に誘起する瞬間電位を防止できる静電保持装置及びそれを用いた搬送装置を提供する。【解決手段】電極へ印加する電圧を制御して保持対象物を静電力により保持する静電保持装置である。この電極は、一対又は複数対の電極103a及び電極103bとから構成されている。電極103a及び電極103bは絶縁領域102cを介して細かいピッチで隣接して多数配列されている。電極103a及び電極103bに互いに逆極性の電圧を印加する制御装置106を備え、電極103a及び電極103bに制御装置106から互いに逆極性の電圧を印加することで保持対象物104を保持することができる。

請求項（抜粋）：

電極へ印加する電圧を制御して保持対象物を静電力により保持する静電保持装置において、前記電極は、一対又は複数対の電極A及び電極Bとから構成され、前記電極A及び電極Bは絶縁領域を介して細かいピッチで隣接して多数配列され、前記電極A及び電極Bに互いに逆極性の電圧を印加する制御装置を備え、前記電極A及び電極Bに前記制御装置から互いに逆極性の電圧を印加することで保持対象物を保持することを特徴とする静電保持装置。

FI (2件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/68 R

Fターム (12件)：

5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031GA09 , 5F031GA33 , 5F031GA61 , 5F031HA18 , 5F031HA19 , 5F031JA01 , 5F031JA32 , 5F031JA51 , 5F031LA11

前のページに戻る