特許
J-GLOBAL ID：200903037782005223
搬送装置および搬送装置の制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-331467
公開番号（公開出願番号）：特開平11-156768
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 搬送装置において、搬送時間の短縮を図るため、加速度を上げることや原点復帰時間を短くすることにある。【解決手段】 二つの駆動モータの角速度を等しくするために、両駆動モータの位置検出器の信号を比較し、両者の差分を一方のモータコントローラにフィードバックし遅れもしくは進みを補正し常に二つの駆動モータの同期が取れるようにした。搬送装置のキャリアにウェハカセット4の有無を検出するセンサを付け、ウェハカセットが載っている時は搬送の加速度を制限される値に押さえ、ウェハカセットが無い時にはその駆動系の持つ最大出力まで加速するようにした。原点復帰の時間を短縮するために、第1の腕1aを駆動する駆動軸と、第1の腕1bを駆動する駆動軸のそれぞれの検出板にセンサを設け、検出板の形状を半円形とし、二つのセンサの検出状態で四つのパターンに分類し、それぞれのパターンにおいて腕の回転方向を定義しておきそれに従って回転させるようにした。
請求項（抜粋）：
二軸の駆動軸を同軸に配し、各々駆動軸の同一側の一端には軸を回転させるための駆動系を持ち、駆動軸の他端には軸と結合して駆動可能な一対の第1の腕と、第1の腕の他端には第1の腕に対して駆動軸と直角を成す平面で回転自在な構成からなる一対の第2の腕を結合させ、そして第2の腕の他端には各々第2の腕の開き角を同一にする機構を具備する関節と、各々関節の回転中心軸で支持された被搬送物を載置するキャリアを有し、前記キャリアを支持する関節部が駆動軸の回転中心軸上を通過可能な搬送装置において、二軸の駆動軸を回転させるための駆動系に二軸の回転の同期を取る手段を設けたことを特徴とする搬送装置。
IPC (4件)：
B25J 9/06
, B25J 9/10
, B25J 18/02
, B25J 19/02
B25J 9/06 A
, B25J 9/10 A
, B25J 18/02
, B25J 19/02
