特許

J-GLOBAL ID：200903037787794641

銅/窒化タンタル/五酸化タンタルの積載構造を有するMOM構造

発明者： サイレッシュ マンシン マーチャント ,  ミンセオク オー ,  プラディップ クマー ロイ ,  イゥ-ヒューエン ウォン
出願人/特許権者： ルーセント テクノロジーズ インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-004534
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208705
出願日： 2000年01月13日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 銅/窒化タンタル/五酸化タンタルの積載構造を有するMOM構成を提供することにある。【解決手段】 本発明は、第1の電極と、第1の電極上に形成した五酸化タンタル層と、五酸化タンタル層上に形成した第1の障壁層と、第1の障壁層上に形成した第2の銅電極とを具備する、集積回路の金属-酸化物-金属(MOM)コンデンサを提供する。ある実施例では、MOMコンデンサの第1の障壁層が窒化タンタルである。

請求項（抜粋）：

集積回路の金属-酸化物-金属コンデンサであって、第1の電極と、前記第1の電極上に形成された五酸化タンタル層と、前記五酸化タンタル層上に形成された第1の障壁層と、前記第1の障壁層上に形成された銅を含有する第2の電極とを含む、集積回路の金属-酸化物-金属コンデンサ。

IPC (2件)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822