特許

J-GLOBAL ID：200903037793723306

調合タンク

発明者： 中山 裕嗣 ,  内田 盛男 ,  河野 均 ,  宮越 良純
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立デバイスエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-261256
公開番号（公開出願番号）：特開平11-090198
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：

【要約】【課題】 ごみの発生源となる可動部を備えず、これにより純度の高い調合液を得る。【解決手段】 異なる種類の液体を混合かつ調合する調合タンクにおいて、タンク内の液体を循環させる管の一部を前記タンク内の液体中に設けるとともに、該管の一部は、その中の液体が螺旋状に流通するように構成され、かつ管壁に孔が形成されている。

請求項（抜粋）：

異なる種類の液体を混合かつ調合する調合タンクにおいて、タンク内の液体を循環させる管の一部を前記タンク内の液体中に設けるとともに、該管の一部は、その中の液体が螺旋状に流通するように構成され、かつ管壁に孔が形成されていることを特徴とする調合タンク。

IPC (5件)：

B01F 5/10 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/306 ,  G03F 7/30 501

FI (5件)：

B01F 5/10 ,  G02F 1/13 101 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/30 569 A ,  H01L 21/306 J