特許
J-GLOBAL ID：200903037800076923
現像装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
浅井 章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-289389
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120133
出願日： 1992年10月02日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 乾燥用気体を用いることにより基板の迅速な乾燥を行うことができる現像装置を提供する。【構成】 基板保持手段28に保持した被処理基板30に、現像液A、リンス液を順次供給して感光膜の現像を行う現像装置2において、基板保持手段28の上方に乾燥用気体噴出手段70を設ける。そして、リンス操作後のリンス液振り切り時に噴出手段70より乾燥用気体Dを噴出し、基板表面の乾燥を促進させる。
請求項（抜粋）：
回転可能になされた基板保持手段に保持された被処理基板に、現像液およびリンス液を順次供給して前記被処理基板に形成された感光膜の現像を行う現像装置において、前記基板保持手段の上方に、前記リンス液によるリンス操作の後に前記被処理基板を乾燥させる乾燥用気体を噴出する乾燥用気体噴出手段を設けたことを特徴とする現像装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/30 502
