特許
J-GLOBAL ID：200903037802696554
インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-151322
公開番号（公開出願番号）：特開2000-334956
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：
【要約】【課題】対インク耐蝕性に優れた信頼性の高いインクジェットプリンタヘッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】ストライプ状の発熱抵抗体層24、その発熱部25、その両側に積層された共通電極21及び個別配線電極23からなる複数条の発熱素子に対し、共通電極21及び個別配線電極23の少なくともインク流路34に存在する部分の発熱抵抗体層24と接合する面を除く全周面、つまり上面21-1,23-1及び端面21-2,23-2を覆うようにして対インク耐蝕バリア層41を形成する。対インク耐蝕バリア層41の材料としては、例えばTa、Ti等の単一金属や酸化物、或は耐蝕性のアモルファス合金もしくは窒化チタンまたはチタンタングステン等を用い、無電解メッキ法等を利用して例えば100〜10000Åの膜(又は層)に形成する。これにより、溶解腐蝕ばかりでなくマイグレーションによる接合面腐蝕も防止する。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板と、前記絶縁性基板上に積層された複数条の発熱抵抗体層と、該発熱抵抗体層上にその少なくとも発熱部となる領域を除いて積層された導体層と、該導体層及び前記絶縁性基板上の所定の領域にインク流路を区画形成すべく積層された隔壁と、前記導体層の少なくとも前記インク流路に存在する部分の前記発熱抵抗体層と接合する面を除く周面、を覆って積層された耐蝕バリア層と、を有していることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
2C057AF70
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG46
, 2C057AG50
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP55
, 2C057BA04
, 2C057BA13
