特許
J-GLOBAL ID：200903037811139137

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者：
山中 俊夫

山中 俊夫 について

, 
岡田 好史

岡田 好史 について

, 
高河原 薫

高河原 薫 について


出願人/特許権者：
鐘淵化学工業株式会社

鐘淵化学工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-042770
公開番号（公開出願番号）：特開2003-238683
出願日： 2002年02月20日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：
【要約】【課題】 高感度で高コントラストのパターンを得られると同時に、微細パターンの解像性及び接着性に優れたポジ型感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】 一般式(1)で表される単位(一般式(1)中、R1は4価の有機基、R2は2価の有機基をR3は1価の有機基表す)と、一般式(2)で表される単位(一般式(2)中、R4は4価の有機基、R5は2価の有機基を表す)を有し、一般式(1)および一般式(2)中のR1、R2、R4、R5のうち少なくとも一つがフッ素原子と共有結合していることを特徴とするポリアミド酸エステル/ポリアミド酸共重合体及び光により酸を発生する化合物を含むポジ型感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
下記一般式(1):化1で表される単位と【化1】(一般式(1)中、R1は4価の有機基、R2は2価の有機基をR3は1価の有機基を表す)下記一般式(2):化2で表される単位【化2】(一般式(2)中、R4は4価の有機基、R5は2価の有機基を表す)を有し、一般式(1)および一般式(2)中のR1、R2、R4、R5のうち少なくとも一つがフッ素原子と共有結合していることを特徴とするポリイミド前駆体。
IPC (4件)：
C08G 73/10 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
C08G 73/10 ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (21件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025CB25 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4J043PA04 ,  4J043PA19 ,  4J043QB31 ,  4J043RA05 ,  4J043SA06 ,  4J043TA22 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UB051 ,  4J043ZB22
引用特許：
審査官引用 (7件)
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