特許
J-GLOBAL ID：200903037813457705
投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-015609
公開番号（公開出願番号）：特開平8-211294
出願日： 1995年02月02日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】十分なワーキングディスタンスを確保しつつ良好な結像性能を得る。【構成】第1物体の等倍像を第2物体上に投影露光する投影露光装置は、前記第1物体と前記第2物体との間に配置された投影光学系を有する。この投影光学系は、平凸レンズL2 及び第1の負メニスカスレンズL3 とからなる接合レンズと、第2の負メニスカスレンズL4 と、凹面鏡Mと、第1物体からの光を平凸レンズL2 へ導くと共に、平凸レンズL2 を介した凹面鏡Mからの光を第2物体上に導く光路折曲げプリズムP1,P2 とを有するように構成される。本発明は、第1及び第2の負メニスカスレンズL3,L4 の屈折力の好適な範囲と、第1及び第2の負メニスカスレンズL3,L4 の硝材のアッベ数の好適な範囲とを見出したものである。
請求項（抜粋）：
第1物体の等倍像を第2物体上に投影露光する投影露光装置において、前記第1及び第2物体とは交差しない光軸を有し、かつ前記第1物体と前記第2物体との間に配置された投影光学系を有し、該投影光学系は、平凸レンズ及び該平凸レンズ側に凹面を向けた第1の負メニスカスレンズとからなる接合レンズと、該接合レンズと空気間隔を挟んで配置されて該接合レンズ側に凹面を向けた第2の負メニスカスレンズと、該第2の負メニスカスレンズと空気間隔を挟んで配置されて該第2の負メニスカスレンズ側に凹面を向けた凹面鏡と、前記第1物体からの光を前記平凸レンズへ導くと共に、前記平凸レンズを介した前記凹面鏡からの光を前記第2物体上に導く光路折曲げプリズムとを有し、前記接合レンズと前記第2の負メニスカスレンズと前記凹面鏡とは前記光軸に沿って配置され、前記第1及び第2の負メニスカスレンズは、前記平凸レンズの屈折力をψa とし、前記第1及び第2の負メニスカスレンズの屈折力をψb とするとき、-0.36 <ψb /ψa < 0の条件を満足し、かつ前記第1及び第2の負メニスカスレンズの硝材のアッベ数をνとするとき、前記第1及び第2の負メニスカスレンズのうちの一方の硝材はν<45を満足し、他方の硝材はν>45を満足することを特徴とする投影露光装置。
IPC (3件)：
G02B 17/08
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
H01L 21/30 515 D
, H01L 21/30 518
