特許

J-GLOBAL ID：200903037823069606

吸着ヘッドの位置決め機構

発明者： 中台 勉
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-134297
公開番号（公開出願番号）：特開平5-304199
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【目的】 セラミック・グリーンシートの検査システムのローディング機構において、パレットに収容された複数のグリーンシートの最上部のものを検出し、これに対して非接触エア式の吸着ヘッドの噴射面を、適正な間隔の吸着位置に位置決めして停止させる位置決め機構を提供する。【構成】 載置台5に対して上昇または下降し、パレット3に収容された最上部のグリーンシート1を検出する光センサ部9を有し、この検出位置に停止する昇降機構7と、昇降機構7に固定され、下降する吸着部6を最上部のグリーンシートに対する適正な間隔の吸着位置に位置決めして停止するストッパ81,82 を配設して構成される。【効果】 パレットに収容された未検査のグリーンシートが非接触で、確実に検査システムにローディングされる。

請求項（抜粋）：

半導体部品に使用されるセラミックのグリーンシートを対象とし、複数の未検査の該グリーンシートを収容するパレットと、該パレットを載置する載置台、および該パレットの上部に設けられ、該収容された前記グリーンシートを非接触でエア吸着する吸着ヘッドとを具備した検査システムのローディング機構において、前記載置台に対して上昇または下降し、前記パレットに収容された最上部のグリーンシートを検出する光センサ部を有し、該検出された最上部のグリーンシートの位置に停止する昇降機構と、昇降機構に固定され、前記下降する吸着ヘッドを、前記最上部のグリーンシートに対する適正な間隔の吸着位置に位置決めして停止するストッパを配設して構成されたことを特徴とする、吸着ヘッドの位置決め機構。