特許
J-GLOBAL ID：200903037829037420
光導波路とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蔦田 璋子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-301614
公開番号（公開出願番号）：特開平6-222234
出願日： 1993年12月01日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 Si系の光導波路であって、製造が容易で、集積化が向上できる光導波路を提供する。【構成】 コア12に直鎖状のポリシランを使用した。これにより、ポリシランの製造が容易であり、可視光領域で優れた伝搬特性を有しており、さらに1μm以下の光導波路が可能であるため集積化が向上できる。
請求項（抜粋）：
コアに直鎖状のポリシランを使用したことを特徴とする光導波路。
IPC (2件)：
G02B 6/12
, C08G 77/60 NUM
