特許

J-GLOBAL ID：200903037832016680

透明導電膜を有する電子装置

発明者： 佐藤 崇 ,  藤田 達也 ,  緒方 秀武
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373328
公開番号（公開出願番号）：特開2001-188240
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：

【要約】【課題】 Al導電膜および透明導電膜を有する電子装置において、透明導電膜用のエッチャントによるAl導電膜の腐食の問題ならびにAl導電膜と透明導電膜との直接コンタクトによる電触発生の問題を、バリア膜を用いることなく解決すること。【解決手段】 TFT液晶装置のアクティブマトリクス基板において、画素電極1および端子電極11を構成する透明導電膜を、Ti酸化物によって形成する。Ti酸化物のエッチングガスであるCF4O2はAlをエッチングせず、また、Ti酸化物とAlとの間には電触が発生しない。従って、画素電極1および端子電極11を、バリア膜を介在させることなく、Al導電膜からなるドレイン接続電極9、および、端子10,ソース配線3にそれぞれ直接接続する。

請求項（抜粋）：

Alからなる導電膜と、Ti酸化物(TiOx)からなる透明導電膜とを直接接続したことを特徴とする電子装置。

IPC (7件)：

G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 330 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/3213 ,  H01L 21/768 ,  H01L 29/786 ,  H05K 1/09

FI (7件)：

G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 330 Z ,  H05K 1/09 C ,  H01L 21/88 M ,  H01L 21/88 D ,  H01L 21/90 A ,  H01L 29/78 612 C