特許
J-GLOBAL ID:200903037834348710

塗布方法及び塗布製品

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松浦 憲三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-190759
公開番号(公開出願番号):特開2002-086050
出願日: 2001年06月25日
公開日(公表日): 2002年03月26日
要約:
【要約】【課題】多層塗布により薄い塗布層(湿潤状態で2μm以下)の塗布層を高速塗布で形成しても塗布層表面に等ピッチスジの発生を抑止することができる。【解決手段】複数のスリット30を有する塗布ヘッド14でウエブ12に多層塗布する場合、ウエブ12の走行速度をU[m/秒]、複数又は1つ以上の塗布液の平均ハイシェア粘度をμ[Pa・秒]、多層塗布層のうちの最上層塗布液の表面張力をσ[N/m]としたときに、次式、Ca=Uμ/σで計算されるキャピラリー数Caが0.1<Ca<4を満足するように前記走行速度、平均ハイシェア粘度、及び最上層塗布液の表面張力を調整して塗布する。
請求項(抜粋):
連続走行する可撓性支持体と塗布ヘッドのエッジ面とを相対的に押しつけると共に、前記塗布ヘッド内に供給した複数の塗布液を、各スリットを介して前記エッジ面の前記可撓性支持体幅方向に形成された各スリット吐出口から吐出して前記可撓性支持体にウエットオンウエットで多層塗布する塗布方法において、前記可撓性支持体の走行速度をU[m/秒]、前記複数の塗布液の平均ハイシェア粘度をμ[Pa・秒]、前記多層塗布された層のうちの最上層塗布液の表面張力をσ[N/m]としたときに、次式、Ca=Uμ/σで計算されるキャピラリー数Caが0.1<Ca<4を満足するように調整して塗布することを特徴とする塗布方法。
IPC (5件):
B05D 1/26 ,  B05C 5/02 ,  B05D 1/36 ,  G03F 7/16 ,  G11B 5/842
FI (5件):
B05D 1/26 Z ,  B05C 5/02 ,  B05D 1/36 B ,  G03F 7/16 ,  G11B 5/842 Z
Fターム (44件):
2H025AA18 ,  2H025AB14 ,  2H025AB17 ,  2H025EA04 ,  4D075AC04 ,  4D075AC72 ,  4D075AC94 ,  4D075AC96 ,  4D075AC99 ,  4D075AE23 ,  4D075CA22 ,  4D075CA24 ,  4D075CA47 ,  4D075CB03 ,  4D075DA04 ,  4D075DB06 ,  4D075DB07 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DB18 ,  4D075DB36 ,  4D075DB38 ,  4D075DB48 ,  4D075DB53 ,  4D075DC16 ,  4D075DC18 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075DC28 ,  4D075EA05 ,  4D075EA10 ,  4D075EA45 ,  4D075EB15 ,  4D075EB35 ,  4D075EB52 ,  4D075EB56 ,  4F041AA12 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA56 ,  4F041CA02 ,  4F041CA12 ,  5D112AA04 ,  5D112CC02
引用特許:
審査官引用 (2件)

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