変調反射分光測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-145285
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340675
出願日： 2001年05月15日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、測定時間を大幅に短縮化できる変調反射分光測定装置を提供することにある。【解決手段】光源112からの白色検査光116を試料118に照射する照射手段136と、所定時期に試料118上の検査光116に外部変調光128を重畳させて照射し試料特有の表面電場を変調する変調手段138と、試料118からの反射光120を特定領域の各波長光に分光し各波長光を同時に取出す分光手段140と、該各波長光を同時に検出するマルチチャンネル検出手段142と、試料118に外部変調光128及び検査光116を重畳させて照射した時と検査光116のみを照射した時との検出手段142での差分信号に基づいて、試料の電子エネルギ構造を反映したスペクトル情報を得る信号処理手段144と、を備えたことを特徴とする変調反射分光測定装置110。

請求項（抜粋）：

白色の検査光を出射する光源と、前記光源からの検査光を試料に照射する試料照射手段と、所定時期に前記試料上の検査光に外部変調光を重畳させて照射し、該試料特有の表面電場を変調する変調手段と、前記試料からの反射光を特定波長領域の各波長光に分光し、各波長光を同時に取出す集光側分光手段と、前記集光側分光手段で取出された特定波長領域の各波長光を同時に検出するマルチチャンネル検出手段と、前記試料に外部変調光及び検査光を重畳させて照射した時に検出手段で得られた信号と、該試料に外部変調光を照射せず検査光のみを照射した時に検出手段で得られた信号との差分信号に基づいて、試料の電子エネルギ構造を反映したスペクトル情報を得る信号処理手段と、を備えたことを特徴とする変調反射分光測定装置。

IPC (5件)：

G01J 3/433 , G01J 3/36 , G01N 21/00 , G01N 21/27 , H01L 21/66

FI (6件)：

G01J 3/433 , G01J 3/36 , G01N 21/00 B , G01N 21/27 B , G01N 21/27 E , H01L 21/66 L

Fターム (50件)：

2G020AA04 , 2G020BA04 , 2G020BA17 , 2G020CA13 , 2G020CB23 , 2G020CB43 , 2G020CC01 , 2G020CC31 , 2G020CC47 , 2G020CC48 , 2G020CC63 , 2G020CD06 , 2G020CD24 , 2G020CD32 , 2G020CD33 , 2G020CD36 , 2G020CD51 , 2G059AA03 , 2G059BB08 , 2G059BB16 , 2G059DD13 , 2G059EE02 , 2G059FF01 , 2G059GG01 , 2G059GG03 , 2G059GG06 , 2G059GG07 , 2G059HH02 , 2G059JJ01 , 2G059JJ02 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ22 , 2G059JJ23 , 2G059JJ30 , 2G059KK03 , 2G059MM01 , 2G059MM09 , 2G059PP04 , 4M106AA10 , 4M106BA05 , 4M106CB30 , 4M106DH32 , 4M106DH38 , 4M106DH39 , 4M106DH60 , 4M106DJ15 , 4M106DJ17 , 4M106DJ18 , 4M106DJ23

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