特許
J-GLOBAL ID：200903037844709532
荷電粒子ビーム装置における収差補正装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-300277
公開番号（公開出願番号）：特開2003-203593
出願日： 2002年10月15日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：
【要約】【課題】 長時間に渡って安定なそして最適な収差補正を行うことができる荷電粒子ビーム装置の収差補正装置を実現する。【解決手段】 色収差を補正するために、4段の静電型4極子1,2,3,4と、中央の2段の静電型4極子2,3の電位分布と相似な磁位分布を重畳させる2段の磁場型4極子5,6と、対物レンズ7と、加速電圧や作動距離を変更する操作表示部9と、4段の静電型4極子1〜4に電圧を供給する電源10と、2段の磁場型4極子5,6を励磁する電源15と、対物レンズ7の電源17と、操作表示部9の操作または設定に基づいて前記電源10、15を制御する制御部19が備えられている。加速電圧を変えた場合、磁場型4極子の励磁は一定に維持し、第4の静電型4極子4と対物レンズ7との合成倍率を調整して色収差の補正を行う。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビーム光学系内部に配置された収差補正装置であって、4段の静電型4極子と、4段の静電型4極子の中央の2段の静電型4極子の電位分布と相似な磁位分布を重畳させる2段の磁場型4極子と、荷電粒子ビームを試料にフォーカスさせる対物レンズと、荷電粒子ビームの光路の一部に設けられた対物絞りと、荷電粒子ビームの加速電圧や対物レンズと試料間の距離である作動距離を変更する操作部と、操作部の操作または設定に基づいて前記各4極子と対物レンズとを制御する制御部を備えた荷電粒子ビーム装置における収差補正装置。
IPC (2件)：
H01J 37/153
, H01J 37/145
H01J 37/153 B
, H01J 37/153 A
, H01J 37/145
5C033CC02
, 5C033HH05
, 5C033HH06
, 5C033JJ07
