欠陥検査装置および方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：牛久健司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-261341
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101139
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】画像ノイズを被検査対象の欠陥を誤検出しないようにする。【構成】被検査対象がカメラ1により撮像されることにより得られる対象画像データが画像メモリ12に記憶される。位置修正処理15により位置ずれ修正が行われるる。直線の走査線上において,位置算出処理16において注目点の位置が算出される。位置ずれ修正されたされた対象画像データについて,注目点の位置における特徴量が特徴量作成処理17により算出され,特徴量メモリ18に記憶される。一の中心点における特徴量と,中心点からそれぞれαだけ離れた2つの前方点および後方点における特徴量とに基づいて欠陥度が欠陥度算出処理19により算出される。この欠陥度が最大となる欠陥度が最大欠陥度として最大欠陥度抽出処理20により抽出される。抽出された最大欠陥度がしきい値THよりも大きければ,その最大欠陥度と欠陥位置が出力される。

請求項（抜粋）：

被検査対象を表す対象画像データを記憶する画像メモリ,あらかじめ設定された走査線上において,上記画像メモリに記憶された対象画像データについて複数の代表画素位置において代表値をそれぞれ作成する代表値作成手段,一の代表画素位置を中心位置とし,中心位置における代表値と,中心位置から走査線に沿って前後にそれぞれ所定距離だけ離れた2つの代表画素位置における代表値とに基づいて欠陥度を算出する欠陥度算出手段,ならびに上記欠陥度算出手段によって算出された欠陥度が最大となる最大欠陥度に基づいて上記走査線上に欠陥があるかどうかを判定する比較判定手段,を備えた欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G06T 7/00 , G06T 1/00

FI (3件)：

G06F 15/62 400 , G06F 15/64 J , G06F 15/70 330 N

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭63-304146
特開昭64-088139
特開平2-128284

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